特殊ガスの応用例
直接見ることが出来ないので身近に感じられないと思いますが、日常生活の中で、ガスは無限に利用されています。ここでは、専門的な話ではなく、
どの様な方面で何が使われているかを説明します。

・シリコン半導体向
ガスは、シリコンウエハ上の薄膜を形成したり、ドーピング(不純物注入)、
エッチングなどの各工程で使用されます。
JFP製品では、N2、Ar、H2、O2、He、SiH4、NF3、NH3、CF4、C2F6等が使用されています。カーエレクトロニクス、デジタル家電の需要が更に伸びることが予想されます。

スポーツカー   デジタル家電


・液晶ディスプレイ向
パソコンの画面、携帯電話の画面等で主流の液晶TFTです。
JFP製品では、SiH4、PH3等が大量に使用されています。

液晶ディスプレイ   携帯電話


・化合物半導体向け
2種類以上の元素の化合物で構成された半導体。代表的なものにはGaAs(ガリウム砒素)があります。LED、携帯電話等高周波、高速デバイスに最適。最近の話題では、青色LEDがあります。
JFP製品では、AsH3、PH3、NH3等が使用されています。

LED   携帯電話


・管球向け、二層ガラス向け
管球向けガス用途は古くからあり、ネオンサインやハロゲン電球もその仲間です。
また、プラズマディスプレイ用途にも使われていました。
近年、二層ガラスの間に封入して断熱層として使用される量が増えています。
これには、Xe(キセノン)、Kr(クリプトン)などが使用されています。

ネオン管


・標準ガス
大気や室内環境の不純物を測定するために、ガスクロマトグラフィなどの分析計を使用します。
分析計に資料を導入してもいきなり測りたい濃度がそのまま出る訳ではなく、出力は電圧、電流値として出ます。
標準ガスは、分析計の出力がガス濃度としていくつになるのかを測る、
「ものさし」になるガスなのです。この「ものさし」は、日本として統一しなければならないため、”計量法”という法律によって共通の「ものさし」を
作っています。
JFPは、計量法で定める標準ガスの登録事業者となっています。

標準ガス容器