製品情報
大気や排ガス等の測定に欠かせない基準となる「標準ガス」、不純物を極限まで除去して、近年ではキーデバイスの洗浄用等にも使用される「高純度ガス」、次世代に向けて日々高集積化が進む半導体に使用される「半導体材料ガス」など、幅広いニーズに対応する特殊ガスを製造しています。

[取扱品目]
・高純度ガス
 (ゼロガス用、キャリア用、雰囲気用など)
O2、N2、Ar、H2、He、Air、CO2、CO、CH4、Ne、Kr、Xe等
・標準ガス
 (大気汚染分析、自動車排気ガス分析、石油化学・製鉄工業などで使われる
 分析計の校正用ガス)
計量法(トレーサビリティ制度)に基づく標準ガス
一般標準ガス
環境用標準ガス(大気・土壌・水質中の目的成分の分析)
・混合ガス
 (金属熱処理用、電球封入用、還元試験用、エキシマレーザー用など)
・半導体材料ガス
 (ドーピング用、エピタキシャル用、クリーニング用、エッチング用など)
SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、GeH4、Si2H6、WF6、NH3、NF3、CO、C2F6、 C3F8、C4F6、C5F8、CF4、SF6、BF3、SiF4、H2Se、SDS(AsH3、PH3、BF3)等
・化合物半導体材料ガス
 (AsH3、PH3など)
化合物用途AsH3、化合物用途PH3
・その他
   スプレー缶詰標準ガス、超高圧ガス


特殊ガスの応用例をまとめました。


※高純度ガス、標準ガス等の詳細情報は、
大陽日酸 特殊ガスウェブカタログにてご確認下さい。
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