| ［取扱品目］ |
・高純度ガス
(ゼロガス用、キャリア用、雰囲気用など)
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O2、N2、Ar、H2、He、Air、CO2、CO、CH4、Ne、Kr、Xe等
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・標準ガス
(大気汚染分析、自動車排気ガス分析、石油化学・製鉄工業などで使われる分析計の校正用など)
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計量法（トレーサビリティ制度）に基づく標準ガス
一般標準ガス
環境用標準ガス（大気・土壌・水質中の目的成分の分析）
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・混合ガス
(金属熱処理用、電球封入用、還元試験用、エキシマレーザー用など)
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・半導体材料ガス
(ドーピング用、エピタキシャル用、クリーニング用、エッチング用など) |
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SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、GeH4、Si2H6、WF6、NH3、NF3、CO、C2F6、
C3F8、C4F6、C5F8、CF4、SF6、BF3、SiF4、H2Se、SDS(AsH3、PH3、BF3)等
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・化合物半導体材料ガス
(AsH3、PH3など)
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化合物用途AsH3、化合物用途PH3
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・その他
スプレー缶詰標準ガス、超高圧ガス
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特殊ガスの応用例をまとめました。
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※高純度ガス、標準ガス等の詳細情報は、
大陽日酸 特殊ガスウェブカタログにてご確認下さい。
（別ウィンドウが開きます）
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