企業情報 三重工場
JFP三重H2Se
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JFP三重6
半導体材料ガスと高純度ガスの専門工場です。当社は、急激に発展、拡大を続ける半導体産業を支えるためガスの技術革新に邁進してまいりました。当工場の設備、装置、その運用上のノウハウは全てこれまでの経験をベースとした先端テクノロジーの結晶です。容器管理、容器内面処理、ガス精製、充填、検査といったプロセスは全て工場内で一貫体制のもとに、クリーン環境の下で行っています。また、工程の自動化や大型容器による供給技術を開発し、経済性の追求も行っています。当工場は超高集積・超高速・超微細化の次世代を担う一大拠点として供給体制を確立しています。
また、2011年(平成23年)からは、大型容器に対応したSiH4(モノシラン)製造設備の増強、ならびにH2Se(セレン化水素)の自社発生・製造設備を新設し、多様化する顧客ニーズにフレキシブルに対応しています。
H2Se棟は2011年7月より本格稼働を開始しており、安全、安定な生産を続けています。

[取扱品目]
・高純度ガス(ゼロガス、キャリア、雰囲気用等)
・半導体材料ガス(ドーピング、エピタキシャル、
 クリーニング、エッチング用等)
・化合物半導体材料ガス(AsH3、PH3等)
・太陽光発電向け(H2Seなど)

[品質マネジメントシステム]
全てのプロセスで徹底した品質管理を実施しており、品質マネジメントシステムの国際規格であるISO9001(JCQA-0017)の認証を全社統一で取得しています。

[環境マネジメントシステム]
環境と企業活動の調和を目指し、環境マネジメントシステムの国際規格であるISO14001(JCQA-E-0022)の認証を全社統一で取得しています。

[H2Se製造棟]
セレン化水素[H2Se]は、有機セレン半導体のドーピングや、化合物系太陽電池向けの材料ガスです。JFPでは2011年よりH2Seの自社発生設備を導入しました。

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